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                    無菌實驗室如何劃分潔凈等級

                    來源: 時間:2014-12-25 17:42:18 瀏覽次數:

                    凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP 凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。

                    ()潔凈室之等級
                    世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
                    209E209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以M字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5.表示。 潔凈網z:Wg1pj 
                    美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。

                    ()潔凈室之定義
                    潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室。
                    「潔凈室」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
                    潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
                    ()潔凈室控管之項目
                    1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
                    2. 能防止微塵粒子之產生。
                    3. 溫度和濕度之控制。
                    4. 壓力之調節。
                    5. 有害氣體之排除。
                    6. 結構物與隔間之氣密性。
                    7. 靜電之防制。
                    8. 電磁干擾預防。
                    9. 安全因素之考慮。
                    10. 節能之考量。

                    ()潔凈室之分類
                    1.亂流式(Turbulent Flow)
                    空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 
                    優點:構造簡單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
                    缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。 

                    2.層流式(Laminar)
                    層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
                    (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
                    優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。
                    缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
                    (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所

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                    優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。
                    缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 
                    3.復合式(Mixed Type)
                    復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
                    (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPAULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。
                    潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。
                    (2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
                    (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
                    潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
                    潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPAULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。 www.link-ac.cn 

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